商品详情
半导体材料电阻检测仪 数字式四探针测试仪 半导体材料电阻率测试仪
型号AODD-4
AODD-4型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果。
仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
AODD-4型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序,通过此测试程序辅助使用户简便地进行各项测试及获得测试数据并对测试数据进行统计分析。
测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据,把采集到的数据在计算机中加以分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看,还可以把采集到的数据输出到Excel中,让用户对数据进行各种数据分析
技 术 指 标:
测量范围电阻率:0.001~200Ω.cm(可扩展);
方块电阻:0.01~2000Ω/□(可扩展);
电导率:0.005~1000s/cm;
电阻:0.001~200Ω.cm;
可测晶片直径140mmX150mm(配S-2A型测试台);
200mmX200mm(配S-2B型测试台);
400mmX500mm(配S-2C型测试台);
恒流源电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档,各档电流连续可调
数字电压表量程及表示形式:000.00~199.99mV;
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1%;
显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;
四探针探头基本指标间距:1±0.01mm;
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
探针压力:5~16牛顿(总力);
四探针探头应用参数(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
(按JJG508-87进行)0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整机测量最大相对误差(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度≤5%
计算机通讯接口并口
标准使用环境温度:23±2℃;
相对湿度:≤65%;
无高频干扰;
无强光直射;
开户行:中国工商银行股份有限公司北京地坛支行
收款人:北京爱欧德仪器设备有限公司
卡 号 0200245509020159078
开户行 :中国工商银行股份有限公司北京地坛支行
收款人 :北京爱欧德科技有限公司
帐 号
:0200245509020158974
开户行:中国工商银行北京昌平区回龙观支行
户名:郝海兰
帐号:6212 2602 0008 2252 806
开户行:中国建设银行北京东土城路支行
户名:郝海兰
帐号:6217 0000 1007 3960 877
一、服务承诺:
1.我公司组建了一批强硬的维修服务队,有经验丰富的工程师和高级技师,对出现的问题都能在最短的时间内进行检测与解决。
2.七天内有质量问题无条件调换产品(人为原因除外)。
3.对我公司所销售出的产品,免费质保一年。
4.保质期内有关于产品质量引发的费用,由我公司承担。
5.保质期内由于贵方的使用不当,或者是自然环境造成的我方免费提供维修,维修所用的材料和配件均只收成本价。
二、运输方式:
1.所订购产品由我公司以快递形式交付到需方指定地点,包装费、运费有我公司支付。
2.货到之后,当场验货,如有损坏,由我公司负责。